免费服务电话：400-658-6617 手机：13805456213 地址：山东省招远市经济技术开发区招金路518号
电话：+86-535-8236617 传真：+86-535-8236637 邮箱：gdrplasma@163.com 备案号：鲁ICP备10209712号
MEMS
[所属分类:半导体/微电子] [发布时间:2020/4/24] [发布人:admin] [阅读次数:] [返回]
SU-8胶的许多非凡的性能很适合使用在制造MEMS和微射流器件上。SU-8是阴性成像环氧树脂型，近紫外光刻胶，可均匀延展的厚度可达2毫米，由于其优良的透明度可以用标准的光照曝光机来处理它。这种适合于MEMS制造的光刻胶的众多优点中有一项是它的化学稳定性，只是这样SU-8太稳定了以至于很难去除。戈德尔已成功开发出微波等离子清洗机用于灰化去除SU-8的工艺。