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等离子清洗机GDR-100PR

[所属分类:中型等离子清洗机] [发布时间:2020/4/22] [发布人:admin] [阅读次数:] [返回]
>> 产品特点
   立式中型等离子清洗机,触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于BGA、COB、CSP、LED封装制程清洗有机物及氧化物,中批量生产机型。
>> 技术参数
◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯)
   650(W)×900(D)×1600(H)mm
◆ 仓体结构(合金铝,约100升)
   420(W)×420(D)×570(H)mm
◆ 放电电极
   9层铝合金放电电极,阳极氧化处理
◆ 等离子发生器(美国MKS)
   频率13.56MHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统 
   PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有  手动、自动两种模式
◆ 真空系统
   日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)
   台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器
◆ 压力控制
   PID闭环自动稳压控制
◆ 充气系统 
   美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
   美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀
   日本SMC及CKD高真空气阀组件
>> 相关应用 
- 光刻胶清洗 
- 表面改性